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真空镀膜设备的设计问题以及检漏方法
编辑:中山市天元真空设备技术有限公司   发布时间:2019-01-24

真空镀膜设备相比大家都存有疑惑,今天来讨论一下的是关于真空镀膜设备真空室的设计问题,要是您有兴趣了解的话可以和天元真空一起来看看下面的内容。


真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。


真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。


使用磁控溅射的真空镀膜设备一般采用的是圆筒主体结构,结构上要保证快速抽空,因气袋会缓慢的放气,因此要避免出现隔离孔穴,真空系统上端会加装磁控溅射枪,为了使真空室和元件有足够的强度,保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化,厚度需要足够。


焊接是真空室制造中的一道关键工序,保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象,须合理设计焊接结构,提高焊接质量,处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁,须特别注意的是需做好防止生锈的措施。


真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏,真空度的高低是直接影响到镀膜效果的,所以检漏是必不可少的。


一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生,当抽气系统抽气后使真空室内压强下降,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,造成真空度下降。


真空镀膜设备在检漏的过程中,需要注意以下问题,才能把检漏工作做好。


一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。


二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。


三、检查漏孔的大小,形状、位置,漏气的速度,制备出可解决方案并实施。


四、确定检测仪器比较小的可检漏率和检漏灵敏性,以比较大范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。


五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。


六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误,检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。


为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多种多样,我们要一一的解决这些原因,稳定镀膜的效果。

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